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超純水（Ultrapure water）又稱UP水，是指(zhi)電阻率達到18 MΩ*cm（25℃）的(de)水(shui)。這種(zhong)水(shui)中除了水(shui)分子(zi)(zi)外(wai)，幾乎(hu)沒(mei)(mei)有什么雜(za)質(zhi)，更沒(mei)(mei)有細菌、病毒、含氯二(er)噁(wu)英等(deng)有機物(wu)，當然也沒(mei)(mei)有人體所需(xu)的(de)礦(kuang)物(wu)質(zhi)微(wei)量元素，也就是幾乎(hu)去除氧(yang)和氫(qing)以外(wai)所有原子(zi)(zi)的(de)水(shui)。可以用于(yu)超(chao)(chao)純材(cai)(cai)料（半導體原件材(cai)(cai)料、納米精細陶瓷材(cai)(cai)料等(deng)）應用蒸(zheng)餾、去離子(zi)(zi)化、反滲透技術(shu)或其它(ta)適當的(de)超(chao)(chao)臨界精細技術(shu)的(de)制備過程。